在半導體制造領域,一顆微米級的塵埃粒子就可能導致價值不菲的芯片報廢。對生產環境近乎苛刻的要求——尤其是對空氣懸浮微粒(AMC)和溫濕度的精密控制——直接決定了產品的良率與企業的核心競爭力。無塵車間,就是半導體制造的“生命線”。
客戶背景與挑戰:
客戶是國內一家專注于高端芯片封裝測試的領軍企業。原有車間面臨嚴峻挑戰:
潔凈度波動: 關鍵區域(如芯片貼裝、鍵合)潔凈度(原目標ISO Class 5)時常超標,導致產品缺陷率居高不下。
能耗黑洞: 老舊的HVAC系統效率低下,溫濕度控制不穩定,能耗巨大。
布局掣肘: 原有車間流線混亂,人物流交叉嚴重,存在污染風險,且無法適應新增精密設備需求。
合規壓力: 亟需滿足更嚴格的ISO 14644標準和內部質量控制體系升級要求。
新項目要求極高:
潔凈等級: 核心工藝區穩定達到并維持 ISO Class 5 (Class 100),AMC控制達標。
環境控制: 溫度精度 ±0.5°C,濕度精度 ±3% RH。
壓差梯度: 建立嚴格、穩定的壓差序列,確保潔凈區絕對正壓。
特殊要求: 關鍵區域需 永久性防靜電(ESD) 保護。
合規認證: 必須通過權威第三方 ISO 14644認證。
昊銳凈化工程的解決方案:
面對挑戰,昊銳團隊深入剖析客戶工藝流與痛點,量身定制高效可靠的解決方案:
工藝驅動的優化設計:
基于芯片封裝測試的核心流程(如進料→清洗→貼片→鍵合→測試→出料),采用單向流設計,徹底杜絕人物流交叉污染。
精密設備布局優先,預留充足維護空間及未來擴展接口。
核心工藝區(貼裝、鍵合)采用 FFU+高架地板 垂直層流系統,保障最高潔凈度。
全面應用 永久性防靜電(ESD)PVC地板 及 防靜電涂層彩鋼板墻面/吊頂。
核心工藝亮點:
更衣室: 嚴格三級緩沖設計(一更、二更、氣閘),配備 智能門禁互鎖系統 及 壓差實時監控。
物料傳遞: 設置帶 自凈功能 的傳遞窗及充氣式氣密門。
應用 變頻多聯機+深度除濕轉輪 組合方案,實現溫濕度 獨立精準控制(±0.3°C, ±2% RH)。
采用 高效節能風機(EC電機) 及 智能風量平衡閥,結合 熱回收技術,整體能耗較舊系統 降低超30%。
頂級圍護結構: 采用 50mm厚機制巖棉彩鋼板(A級防火),表面特殊 抗刮耐磨、防靜電涂層,確保氣密性、耐久性與潔凈度。
先進節能HVAC系統:
關鍵區域強化:
智能化監控: 集成 BMS環境監控系統,實時在線監測并記錄 粒子數、溫濕度、壓差、風速 等關鍵參數,超標自動報警,數據可追溯,滿足 ISO 14644 電子記錄要求。
合規性保障: 設計施工嚴格遵循 ISO 14644、IEST、SEMI標準,文件體系完整,為順利認證奠定基礎。
攻堅克難:
高密封挑戰: 針對高架地板下送風空間,采用 特殊密封工藝 與 激光水平儀校準,確保全區域氣密性無死角。
復雜交叉作業: 利用 BIM技術 進行施工模擬,精確協調凈化裝修、機電、工藝設備等多方進場順序,高效推進。
項目成果與價值:
潔凈度卓越: 核心工藝區穩定達到并超越 ISO Class 5 (0.3μm粒子濃度<29個/m3),AMC指標完全達標。
控制精準: 溫濕度控制精度 ±0.3°C / ±2% RH,壓差梯度穩定可靠。
權威認證: 一次性通過 國家權威檢測機構 的全面檢測及 ISO 14644-1 & 14644-3 認證。
客戶效益顯著:
良率飆升: 芯片封裝缺陷率 降低15%,年增效益超千萬元。
安全合規: 生產環境完全滿足國際標準與客戶審計要求。
能耗銳減: 全新HVAC系統助力整體能耗 降低32%。
柔性增強: 優化布局與預留接口,支持未來產能快速擴充。
客戶高度認可: “昊銳的解決方案不僅解決了我們潔凈度的燃眉之急,其卓越的節能設計和智能化管控,更讓我們在成本和效率上獲得了雙重優勢,是真正的戰略合作伙伴。” —— 客戶項目負責人
結語:
昊銳凈化工程深耕 半導體、生物醫藥、精密制造 領域多年,深刻理解高精尖產業對潔凈環境的嚴苛需求與獨特挑戰。我們不止于交付一個“達標”的無塵車間,更致力于打造能 顯著提升您良率、效率與合規競爭力 的高附加值潔凈空間解決方案。