工藝參數:生產設備布局圖、發熱量、排氣量(需區分一般排氣與有機廢氣)
環境要求:潔凈度等級(動態/靜態)、溫濕度控制精度(±1℃/±5%RH)、壓差梯度(5-20Pa)
建筑條件:原結構荷載(建議≥800kg/m2)、層高(需預留技術夾層≥1.2m)
動力參數:電力負荷(含UPS需求)、純水/氣體供給點位、廢水處理要求